春日电机株式会社 KASUGA 支持真空的静电电位传感器 KS-3101

支持真空的静电电位传感器( KS-3101 )
vacuum-compatible-electrostatic-potential-sensor ( ks-3101 )

由于真空中缓和静电的气体成分稀薄，静电会导致比大气压环境更严重的生产障碍。

支持真空的静电电位传感器是使用能够在真空环境下使用的材料或部件，可以用于测量真空内产生的静电的传感器。 请用于确定真空工序中静电产生的原因，以及连续监视静电电位。

各种特性

大气压、真空中的线性度

图表是用KS-3101测量在真空室内施加任意电压的带电板的电位的结果。 即使在不同的压力环境下(真空下10-3Pa、大气压下10+5Pa )，也无需校正即可获得相等的测量值。

※该数据为实测值，并非保证值。

真空兼容静电电位传感器测量对真空室的影响

●排气分析比较

根据对传感器释放的出气的分析，确定了气体的主要成分是由水和微量的碳氢化合物引起的。 由于各个峰值与背景测量的峰值相同，因此可以认为是来自环境中吸附在传感器表面的气体。

●到达真空度的比较

排气装置:涡轮分子泵TG220FCAB ㈱ (株)大阪真空设备制作所制
排气速度: 220 L/sec (N2 )
暗箱尺寸:φ300 × L 300㎜

※该数据为实测值，并非保证值。

规格

※真空法兰请用户自行准备。

配置

控制器

KSD-0110 :支持触摸屏、SD卡的高性能型

※控制器KSD-0110的规格是这边请从开始确认。

尺寸各部分的名称

①测量部
②调零部
③外壳(不锈钢镜面抛光)
④安装垫片(特氟隆)
⑤量程切换开关
⑥动作故障指示灯
⑦带电指示灯( 0、+、- )
⑧专用电缆(带连接器)